石英晶體是離子型的晶體，由于結(jié)晶點(diǎn)陣的有規(guī)則分布，當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，稱為壓電現(xiàn)象。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層，使芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
膜厚監(jiān)控儀(FTM)是如何工作的呢？鍍膜時(shí)，膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動(dòng)，測試每秒鐘振動(dòng)次數(shù)的改變，從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。
儀器參數(shù)：
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儀器尺寸 |
300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
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重量 |
6Kg |
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可配套儀器 |
EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
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晶片座 |
置晶片裝置 |
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密度范圍 |
1.55 to 23.0g/cm-3 |
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測控范圍 |
5 to 999nm |
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鍍碳時(shí)精度 |
0.8nm |
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鍍金時(shí)精度 |
0.1nm |
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電源 |
230V 50 Hz (3 Amp Max) |
訂購信息;
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貨號 |
產(chǎn)品名稱 |
規(guī)格 |
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91006 |
EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. |
臺(tái) |
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91006-M |
EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module |
臺(tái) |
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91008 |
Spare Crystals |
盒 |
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91009 |
Spare Glass Cylinder |
個(gè) |
| 電話 010-52571502 010-51248120 郵箱 hedebio@163.com |
